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在一定假设的基础上建立相应的模型,利用射流理论来解出凹槽底部不同位置速度相对于中间最大速度um 的比值。再根据扩散理论获得了凹槽底部不同y 值处蚀刻液反应的相对速度关系。
技术支持 - pcbvs - 2009-09-22 11:00:52
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